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無掩模光刻系統(tǒng)Smart Printer UV


光源:曝光光源385nm(準(zhǔn)直光源590nm);對(duì)齊精度:2 μm;Max. 直寫區(qū)域:70 x 70 mm2

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 Smart Print UV是一款基于μLCD投射技術(shù)的無掩模光刻技術(shù)。Smart Print UV適用于大多數(shù)的感光膠和基底,因此可以產(chǎn)生任何微米級(jí)分辨率的2D形狀而無需實(shí)體的掩模版。

 

Smart-Print UV 主要參數(shù):

版本

標(biāo)準(zhǔn)

高級(jí)

光源

曝光光源385nm(準(zhǔn)直光源590nm)

Min. 特征尺寸

1.5 um

對(duì)齊精度(r 1 cm2 打印區(qū)域)

2 μm

1 μm

Max. 直寫區(qū)域

70 x 70 mm2

110x110mm2

寸底尺寸

Up to 4”

Up to 5”x5”

書寫速度

77 mm2

/min

220 mm2

/min

系統(tǒng)尺寸

W x D x H = 52 x 52 x 69 cm3

      

Smart-Print UV 關(guān)鍵特點(diǎn):

--打印分辨率低至15μm

--通過更換物鏡,可以調(diào)節(jié)打印大小尺寸和分辨率

--可以兼容CAD格式文件和bitmap圖像

--可以通用g-line感光膠

--適合于大多數(shù)基底材料,硅,玻璃,金屬,塑料

--適合于Max. 5‘’英寸的襯底盤片

--帶CCD視覺系統(tǒng)以方便各個(gè)步驟調(diào)試

 

Smart-Print UV 系統(tǒng)優(yōu)點(diǎn):

--無需實(shí)體掩模版,因此節(jié)省大量的制造掩膜模時(shí)間和費(fèi)用

--桌面型系統(tǒng),占地小

--te別適合微電子器件,2D材料,微流控,光電子器件,光學(xué)和任何2D微納制造應(yīng)用

 

Smart-Print UV 系統(tǒng)附件和選件:

--多種樣本夾具(玻璃slide, 4’’基片等)

物鏡:


1 X

5X

書寫區(qū)域(10.56 x 5.9

2.1 x 1.2

Min. 特征(15

3


  3.png

SmartPrint UVMicrolight法國公司成立于年,一家專業(yè)提供微米納米級(jí)3D及無掩模光刻。公司系統(tǒng)以雙光子聚合、激光直寫為基礎(chǔ)兼容生物打印和組織工程亞秒)3D納米打印系統(tǒng)、系統(tǒng),傳統(tǒng)器尤其Microligth3Dmicrochip具有長而高能的脈沖,可以實(shí)現(xiàn)更高效的聚合過程)分辨率的同時(shí)具有更高的性價(jià)比。公司3D。該公司的打印已在quan球銷售,并已在歐洲,美國,中國,新加坡和Microlight3D11 月推出新產(chǎn)品,并進(jìn)一步發(fā)展其技術(shù)。它旨在實(shí)現(xiàn)更快的寫入速度,這將使更大的微觀物體,以及提高精度,體積和表面平滑度,并擴(kuò)大已經(jīng)大量的兼容材料。軟件改進(jìn)也在進(jìn)行中,以實(shí)現(xiàn)更復(fù)雜的設(shè)計(jì)和管理更大的文件

 

 






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