640B絕對壓力控制器.pdf
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640B和641B壓力控制器是獨(dú)立、緊湊的閉環(huán)電子壓力控制系統(tǒng)。每個(gè)都包含一個(gè)電容式壓力計(jì)、常閉比例控制閥和閉環(huán)控制電子設(shè)備。640B控制絕對壓力；641控制表壓（相對于環(huán)境大氣壓的壓力）。兩種傳感器均為Baratron?電容式壓力計(jì)，滿標(biāo)度壓力范圍為100 psi至10 Torr。Baratron電容式壓力計(jì)——以其讀數(shù)精度、穩(wěn)定性和分辨率的百分比而聞名——在較低的壓力和較寬的動(dòng)態(tài)范圍內(nèi)提供比應(yīng)變更精確的測量 儀表傳感器。此外，Baratron電容壓力計(jì)沒有硅油填充，這會(huì)導(dǎo)致滯后，并會(huì)減慢控制器的時(shí)間響應(yīng)。 與標(biāo)準(zhǔn)MFC在電氣上類似，640B/641B僅在200 mA時(shí)由±15 VDC供電，允許與標(biāo)準(zhǔn)電源/顯示電子設(shè)備一起使用。壓力輸出和輸入控制信號(hào)為線性0-5或0-10 VDC。640/641中包含兩個(gè)觸發(fā)點(diǎn)，帶有LED狀態(tài)指示燈，用作簡單的開/關(guān)流程限制。 在MKS的最終測試期間，640/641控制回路調(diào)諧參數(shù)是針對典型安裝條件預(yù)設(shè)的，但可針對不同條件和最佳性能進(jìn)行現(xiàn)場調(diào)整。比例和積分項(xiàng)調(diào)整是簡單的旋轉(zhuǎn)開關(guān)，而不是電位計(jì)，以使OEM或具有多個(gè)控制器的用戶能夠?qū)⑺醒b置預(yù)設(shè)為相同的控制回路參數(shù)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
控制器滿標(biāo)度范圍低至10 Torr，用于低壓過程
提供彈性體和所有金屬密封版本
執(zhí)行閉環(huán)電子壓力控制
與緊湊的3“MFC型封裝外形一致
降低總體系統(tǒng)成本，同時(shí)節(jié)省寶貴的機(jī)架空間
使用經(jīng)驗(yàn)證的Baratron?電容式壓力計(jì)技術(shù)，在廣泛的壓力范圍內(nèi)獲得精確、可重復(fù)的壓力控制/測量
主要優(yōu)點(diǎn)
一體式Baratron電容壓力計(jì)提供準(zhǔn)確、可靠和寬范圍
可用于上游或下游控制器應(yīng)用
控制絕對壓力或表壓
用于過程限制控制的兩個(gè)報(bào)警觸發(fā)點(diǎn)
技術(shù)參數(shù)
Physical | |
壓力傳感器類型 640B絕對壓力器 641B集成儀表壓力控制器 | ? 640B ? 641B |
Pressure Ranges (Full Scales) 壓力范圍（滿刻度） | 10, 100, 1000 mmHg (Torr); 60, 100 psi |
Transducer Overpressure Limit 傳感器過壓限值 | 45 psia or 2x Full Scale, whichever is greater |
Orifice Full Scale Ranges 孔板滿標(biāo)度范圍 | 50, 200, 1000, 5000, 10000, 20000, 50000 sccm (nominal Full Scale flow rates for N2 with 15 psig on inlet and atm. on outlet) |
Maximum Differential Pressure (consistent with transducer overpressure limit) 最大壓差（與傳感器過壓限值一致） | ? 150 psi for 50 to 10,000 sccm orifices ? 30 psi for 20,000 and 50,000 sccm orifices |
Control Mode 控制模式 | Downstream standard; Upstream optional |
Performance 表現(xiàn) | |
Pressure Reading 壓力讀數(shù)精度 Accuracy Temp. Coefficients臨時(shí)系數(shù) Time Response時(shí)間響應(yīng) | ? ±0.5% of Reading (includes linearity, hysteresis, and repeatability) ? Zero: ±0.02% of Full Scale/°C ? Span: ±0.04% of Reading/°C ? <100 msec |
Pressure Control 壓力控制裝置
Range 范圍 Accuracy 精確 Time Response 時(shí)間響應(yīng) | ? >2 to 100% of Full Scale ? ±0.2% of Full Scale ? <1.0 sec (excluding system time constant) |
Environmental 環(huán)境方面 | |
Operating Temperature | 0° to 50°C (32° to 122°F) |
Storage Temperature | -20° to 80°C (-4° to 176°F) |
Electrical與電有關(guān) | |
Power Required | ±15 VDC ±5%, 200 mA max. |
Input/Output Signals 輸入/輸出信號(hào) | 0-5 VDC standard; 0-10 VDC optional |
Connector連接器 | 15-pin male type “D” |
Cable Length電纜長度 | 100 ft. (30 m) max. |
RFI Sensitivity RFI靈敏度 | SAMA 33.1, 1-abc:<0.2% of Full Scale |
Trip Points Rated Adjustable Hysteresis Indicators 跳閘點(diǎn) 額定可調(diào)滯后指示器 | ? Two open-collector transistors ? 250 mA @ 30 VDC ? 1 to 100% of Full Scale ? 3% of Full Scale ? Green LEDs on when actuated |
Compliance 合規(guī)性 | CE |
Mechanical | |
Materials Exposed to Gas 接觸氣體的材料 Standard 標(biāo)準(zhǔn) Optional可選擇的 | ? 316L S.S., 316L/VAR S.S., Inconel, Nickel ? Viton?, Kalrez?, Kel-F? |
Leak Integrity 泄漏完整性 External外部的 Internal1,2 (through closed valve) 內(nèi)部1,2（通過關(guān)閉的閥門） | ? <10-9 scc/sec He ? Elastomer valve:<10-4 scc/sec He ? Metal valve:<1% of Full Scale. (N2 @ 1 atm. ?P) ? Kel-F valve:<0.5% of Full Scale (N2 @ 1 atm. ?P) |
Fittings配件 | Swagelok? 4 VCR?, 8 VCR, or 1/4” Swagelok, Surface Mount |
Dimensions尺寸 | 1.5'' (38.1 mm) x 4.88'' (124 mm) (4 VCR) x 5.50'' (140 mm) max. |
Weight | 2.54 lbs. (1.15 kg) |
注意：
1 640/641控制閥不應(yīng)用于強(qiáng)制關(guān)閉。如果需要強(qiáng)制關(guān)閉，應(yīng)安裝單獨(dú)的閥門。選擇外部切斷閥的位置時(shí)，應(yīng)考慮內(nèi)部傳感器的最大壓力額定值，以及隨著時(shí)間的推移，通過內(nèi)部閥的泄漏可能會(huì)積聚并導(dǎo)致氣體突然激增的可能性。640系列控制器需要流量才能運(yùn)行，在“死區(qū)”（零流量）應(yīng)用中無法控制壓力。
2當(dāng)設(shè)備控制其出口壓力時(shí)，“通過關(guān)閉閥”的泄漏規(guī)范適用，這是標(biāo)準(zhǔn)的竣工配置。如果設(shè)備配置為控制其入口壓力，泄漏率將更高。請咨詢應(yīng)用工程部，以確定是否需要特殊設(shè)置和測試。
尺寸圖-注：除非另有規(guī)定，否則尺寸為標(biāo)稱值，單位為英寸（參考mm）。
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