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基于激光GHz聲波振動觀測系統(tǒng) 500MHz~6GHz


振動檢測方法:基于Sagnac干涉儀的振動檢測(峰值頻率靈敏度:5GHz); 振動觀察法:用激光光束探測的臺控掃描觀測(面外振動); 觀測光源:二極管激光器(波長:650nm典型)照明LED; 可用物鏡:×20、×50、×100 物鏡; 可觀察到的頻率:500MHz ~ 6GHz (Typ.); 驅(qū)動信號輸入范圍:500MHz~6GHz (-120dBM~+15dBM) ; Max. 可分析區(qū)域:25mm × 25mm; 容許工作量Max. 8英寸晶圓片; 樣品臺:電動X-Y型載物臺

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產(chǎn)品總覽

基于激光的觀測系統(tǒng),專門設計用于顯示基于電介質(zhì)/壓電的高頻設備的表面聲波 surface acoustic wave(SAW)和體聲波 Bulk Acoustic Wave(BAW),如SAW濾波器(Interdigital Transducer 叉指換能器 IDT)和薄膜體聲波諧振器(FBAR)

產(chǎn)品特點

適用于不同頻率下物理聲波傳播的分析

短時間廣域觀測



img_51.png


通用參數(shù)

圖像 FFT & IFFT 處理

img_52.png

觀察示例


IDT

360截圖20230519111252785.jpg


FBAR

360截圖20230519111303513.jpg


參數(shù)

振動檢測方法

基于Sagnac干涉儀的振動檢測(峰值頻率靈敏度:5GHz)

振動觀察法

用激光光束探測的臺控掃描觀測(面外振動)

觀測光源

二極管激光器(波長:650nm典型),照明LED

可用物鏡

×20、×50、×100 物鏡

 可觀察到的頻率

500MHz ~ 6GHz (Typ.)

驅(qū)動信號輸入范圍*1

500MHz~6GHz  (-120dBM~+15dBM) *2

Max. 可分析區(qū)域

25mm × 25mm

容許工作量

Max. 8英寸晶圓片

樣品臺

電動X-Y型載物臺

主要軟件功能

基于采樣階段控制的預設區(qū)域掃描觀測

2維 ? 3維觀察結(jié)果指示(in Movie)

二維FFT?FFT圖象處理

基于FFT結(jié)果的特定振動共振模式濾波

面外軸傾角校正

基于預設頻率表的連續(xù)數(shù)據(jù)采集

構(gòu)造

主體/電氣單元/信號發(fā)生器/鎖相放大器/級驅(qū)動器/ PC /軟件

*1 提供高頻探測裝置。(手動探測)

*2 提供輸入信號放大器。






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