用于晶圓的極向克爾效應(yīng)測量系統(tǒng) BH-810CPC25.pdf
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光源：二極管激光器（408nm 或 650nm）； 測量克爾效應(yīng)：極向克爾效應(yīng)； 激光光斑直徑：<φ1mm； 磁場：平面外方向 Max. >±20kOe (±2T)； 晶圓尺寸：8 英寸或 12 英寸晶圓
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| 貨號 : E80100172 | |
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用于磁性半導(dǎo)體的 8 英寸或 12 英寸晶圓目標(biāo)映射測量的非接觸式評估系統(tǒng)。
| 光源 | 二極管激光器（408nm 或 650nm） |
|---|---|
| 測量克爾效應(yīng) | 極向克爾效應(yīng) |
| 激光光斑直徑 | <φ1mm |
| 磁場 | 平面外方向：Max. >±20kOe (±2T) |
| 晶圓尺寸 | 8 英寸或 12 英寸晶圓 |
測量示例
營業(yè)執(zhí)照