东北少妇不带套对白_中文字幕亚洲综合久久菠萝蜜_国产精品186在线观看在线播放_国产综合久久久久久鬼色

close[X]
您的購物車
型號 數(shù)量 貨期
查看購物車 結(jié)算

TEUS S-400 極紫外光源


激光平均功率:400W;脈沖重復率:100kHz或200kHz(可調(diào));等離子體穩(wěn)定性:3% RMS

?因產(chǎn)品升級或技術(shù)原因,產(chǎn)品配圖可能有出入,具體請咨詢客服!

貨號 :     
庫存 : 請咨詢客服
貨期 : 請咨詢客服
點右側(cè)在線咨詢
 
 華北西南東北 Moli
13061644116 同微信 可掃碼
 info@microphotons.com
 西北華中華東華南 Daisy
18602170419 同微信 可掃碼
 info@microphotons.com

產(chǎn)品總覽

主要技術(shù)參數(shù)

型號TEUS S-400
激光平均功率400W
脈沖重復率100kHz或200kHz(可調(diào))
可收集EUV功率的立體角0.05s
等離子體尺寸*μm≤60或≤45
帶內(nèi)輻射轉(zhuǎn)換效率(13.5 nm±1%)2%@2π·sr或1.8%@2π·sr
ЕUV碎片緩減系統(tǒng)后帶內(nèi)通量收集角(13.5nm±1%)44mW或40mW
碎片緩減系統(tǒng)后帶內(nèi)光譜亮度(13.5nm±1%),W/mm2·sr≥310W/mm2·sr或≥500W/mm2·sr
等離子體穩(wěn)定性3%RMS
系統(tǒng)壽命和維護要求

型號TEUS S-400
在24/7運行模式下,不使用特殊膜過濾器,收集器壽命下降10%不少于2個月
在全天候運行模式下,使用特殊膜過濾器,集熱器壽命下降10%不少于4個月
維護間隔:2個月- 1天
正常運行時間在全天候運行模式***1個月
電力,系統(tǒng)尺寸和重量

型號TEUS S-400
電功率10.5 kW
尺寸(L×W×H1500×1000×1200 mm
重量,包括激光部件770 公斤

設(shè)備需求

型號TEUS S-400
房間清潔度等級ISO7
水流速率25升/分鐘



產(chǎn)品特點

? 高亮度(意味著高吞吐量)以及出色的穩(wěn)定性

? jue對Min. 碎片

? 很高的正常運行時間


產(chǎn)品應(yīng)用

? 掩膜及表面檢查:

? 模板檢查(PMI)

? 區(qū)域掩模檢驗(AIMS)

? 掩??誦ai檢驗(MBI)

? 極紫外光學鏈中的極紫外掃描儀檢測

? 材料科學

? 晶片光刻檢驗


其它型號
  名稱 型號貨號         價格
TEUS S-100 極紫外光源 貨號無
聯(lián)系客服或  
 提交詢價單  
TEUS S-200 極紫外光源 貨號無
聯(lián)系客服或  
 提交詢價單  

相關(guān)產(chǎn)品




使用本網(wǎng)站,即表示您同意我們使用cookie.它可以幫助更好地提供會員服務(wù)以及短時間內(nèi)記錄您的瀏覽記錄
已知曉 了解詳情
提示