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TEUS S-200 極紫外光源


激光平均功率:200W;脈沖重復(fù)率:50kHz或135kHz(可調(diào));等離子體穩(wěn)定性:3% RMS

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產(chǎn)品總覽

主要技術(shù)參數(shù)

型號TEUS S-200
激光平均功率
200W
脈沖重復(fù)率50kHz或135kHz(可調(diào))
可收集EUV功率的立體角0.05s
等離子體尺寸*um≤60或≤40
帶內(nèi)輻射轉(zhuǎn)換效率(13.5nm±1%)2%@2π·sr或1.6%@2π·sr
EUV碎片緩減系統(tǒng)后帶內(nèi)通量收集角(13.5nm±1%)22mW或18mW

碎片緩減系統(tǒng)后帶內(nèi)光譜亮度(13.5nm±1%),W/mm2·sr

≥160W/mm2·sr或≥280W/mm2·sr
等離子體穩(wěn)定性3%RMS
系統(tǒng)壽命和維護要求

型號TEUS S-200
在24/7運行模式下,不使用特殊膜過濾器,集熱器壽命下降10%不少于4個月
在全天候運行模式下,使用特殊膜過濾器,集熱器壽命下降10%不少于9個月
維護間隔:3個月-2天
正常運行時間在全天候運行模式***3個月
電力,系統(tǒng)尺寸和重量

電功率8.5 kW
尺寸(L×W×H1500×1000×1200 mm
重量,包括激光部件770 公斤


設(shè)備需求

型號 TEUS S-200
房間清潔度等級ISO7
水流速率10升/分鐘



產(chǎn)品特點

? 高亮度(意味著高吞吐量)以及出色的穩(wěn)定性

? jue對Min. 碎片

? 很高的正常運行時間


產(chǎn)品應(yīng)用

? 掩膜及表面檢查:

? 模板檢查(PMI)

? 區(qū)域掩模檢驗(AIMS)

? 掩??誦ai檢驗(MBI)

? 極紫外光學(xué)鏈中的極紫外掃描儀檢測

? 材料科學(xué)

? 晶片光刻檢驗


其它型號
  名稱 型號貨號         價格
TEUS S-100 極紫外光源 貨號無
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TEUS S-400 極紫外光源 貨號無
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