鍍金衍射光柵.pdf(?)
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光柵類型：透射或反射型 衍射效率：多階Multi-Order 衍射波前誤差：< λ /4(取決于尺寸) 激光損傷閾值：中-高（取決于類型） 帶寬：低（典型.單波長(zhǎng)）
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產(chǎn)品特征：
? 異常衍射波前誤差
? 全孔徑均勻性高
? 堅(jiān)固的蝕刻結(jié)構(gòu)
? 優(yōu)秀的特征定位精度
? 可實(shí)現(xiàn)兩個(gè)維度的空間變化周期
產(chǎn)品應(yīng)用 ：
?用于定位和計(jì)量的超高精度標(biāo)尺，te別是在需要很高線性和精度的情況下
? 位移測(cè)量干涉儀（DMI）的替代品
規(guī)格參數(shù)
參數(shù) | 規(guī)格 |
光柵類型 | 透射或反射型 |
衍射效率 | 多階Multi-Order |
衍射波前誤差 | < λ /4(取決于尺寸) |
激光損傷閾值 | 中-高（取決于類型） |
帶寬 | 低（典型.單波長(zhǎng)） |
二維光柵是定位和計(jì)量應(yīng)用的理想選擇，這些應(yīng)用需要在長(zhǎng)距離（~毫米或更大）內(nèi)具有很高的精度（~納米或更?。＿@些要求存在于半導(dǎo)體、精密制造和生物成像領(lǐng)域，僅舉幾例。位移測(cè)量干涉儀（DMI）通常可以提供一種解決方案，但也可能帶來(lái)昂貴甚至不切實(shí)際的系統(tǒng)限制?；诠鈻诺母缮鎯x提供了一種更簡(jiǎn)單、更穩(wěn)健的解決方案。
2D光柵是通過(guò)正交疊加兩個(gè)一維（1D）結(jié)構(gòu)而產(chǎn)生的。結(jié)果是光柵特征的矩形陣列，其凈衍射效率等于兩個(gè)1D效率的乘積。憑借對(duì)光柵特征放置精度的優(yōu)秀控制，PGL的2D光柵為要求苛刻的定位應(yīng)用提供了行業(yè)優(yōu)秀的解決方案。
產(chǎn)品詳情：
PGL 2D光柵的高精度始于納米尺，該納米尺基于麻省理工學(xué)院開發(fā)的專有SBIL（掃描束干涉光刻）技術(shù)。Nanoruler包括一個(gè)精密的空氣軸承XY載物臺(tái)，該載物臺(tái)帶有安裝在主動(dòng)隔振系統(tǒng)上的雙軸數(shù)字萬(wàn)用表，并裝在一個(gè)環(huán)境外殼中，該外殼將溫度控制在±0.01°C。它在任何方向上掃描一小束條紋，這些條紋通過(guò)外差相位參考干涉術(shù)在大基板上主動(dòng)穩(wěn)定，并實(shí)時(shí)變化條紋頻率和方向。
平均方法和出色的劑量控制確保了整個(gè)光柵和零件之間的周期和特征形狀的一致性——周期重復(fù)性已被證明超過(guò)10 ppb！全息光柵寫入系統(tǒng)中發(fā)現(xiàn)的系統(tǒng)性缺陷幾乎被消除。SBIL甚至允許對(duì)基板中的波前誤差和其他系統(tǒng)級(jí)缺陷進(jìn)行可編程校正。
這些特征，再加上對(duì)基板尺寸缺乏基本限制，意味著PGL的SBIL工藝是大型2D光柵的理想解決方案。
| 名稱 | 型號(hào)貨號(hào) | 描述 | 價(jià)格 |
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營(yíng)業(yè)執(zhí)照