行程:100mm;精度:1.0μm;重復(fù)定位精度(3σ):0.5μm;運(yùn)動分辨率:AA: 10nm;DS: 200nm;最大速度:200mm/s;最大加速度 :0.5g;水平方向直線度:2μm;垂直方向直線度:2μm;偏航角:15μrad;俯仰角:50μrad;裝載質(zhì)量:10kg
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IXY100CA雙軸中空運(yùn)動平臺
技術(shù)參數(shù)
型號 | IXY100CA |
行程 | 100mm |
精度 | 1.0μm |
重復(fù)定位精度(3σ) | 0.5μm |
運(yùn)動分辨率 *1 | AA: 10nm DS: 200nm |
最大速度 *2 | 200mm/s |
最大加速度 *2 | 0.5g |
水平方向直線度 | 2μm |
垂直方向直線度 | 2μm |
偏航角 | 15μrad |
俯仰角 | 50μrad |
裝載質(zhì)量 *3 | 10kg |
*1 針對不同的控制器、驅(qū)動器、環(huán)境振動和結(jié)構(gòu)的系統(tǒng)設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)不同的運(yùn)動分辨率,歡迎垂詢。
*2 針對不同承載重量、控制器、驅(qū)動器的系統(tǒng)設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)不同的速度和加速度,歡迎垂詢。
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